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货号378-184-1 378-184-3 三丰MITUTOYO

货号378-184-1 378-184-3 三丰MITUTOYO

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• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。

• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械的OEM (原厂委制) 产品,如那些利用YAG (近红外、可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶片进行检测和修补的设备。* 不保证激光系统产品的性能和安全性。

• 应用:切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。

• 可用于红外光学系统*。应用:晶体硅的内部观察;红外光谱特征分析。* 需要红外光源和红外摄像机。

• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。

• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。

• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。

半导体检测显微镜单元技术参数

 

型号

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

FS70L4-TH

型号

FS70S

FS70-THS

FS70ZS

FS70Z-THS

FS70LS

FS70L-THS

FS70L4S

FS70L4-THS

聚焦调节

使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围

图像

正像

物镜筒镜

西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm

视场数

24mm

俯角

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

透过率

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型(目

镜/管径=

100%/0%

0%/100%)

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型(目镜/管径=100%/0%:0%/100%)

防护滤光片

-

内置激光滤光片

管径镜头

1x

1x-2x放大

1x

适用激光

-

1064/532/355nm

532/266nm

相机安装端口

C-mount (适用适配器B选件)

使用带TV接口的激光

C-mount开关

(带绿色滤光片转换开关)

照明系统(选件)

亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑)

12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度

物镜

(用于观察)

M Plan Apo, M Plan   Apo SL, G Plan Apo

物镜(用于激光切割)

-

M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV

载重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主机)

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

灯泡更换

标准:   卤素灯泡 (12V, 100W) (517181)

用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700)

注:镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。

半导体检测显微镜单元标准配置

主机;

相机(根据不同型号配置);

管径镜头(根据不同型号配置);

防护滤光片;

物镜(根据不同型号配置);

卤素灯泡;

半导体检测显微镜单元可选配件

照明系统:

亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑);

12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度;

物镜:

用于观察:M Plan Apo, M Plan   Apo SL, G Plan Apo;

用于激光切割:M/LCD Plan NIR,M/LCD Plan NUV,M Plan UV;





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